Mikrosystemtechnik Auf Silizium

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Mikrosystemtechnik Auf Silizium

Die Mikrosystemtechnik Wird In Ihren Teilgebieten Mikroelektronik Und Mikromechanik Von Der Siliziumtechnologie Beherrscht. Materialeigen Schaften Und Insbesondere Die Verbreitete, Hoch Entwickelte Proze Technik Haben Andere Materialien Weitgehend Verdrngt. Dagegen Ist Das Halbleitermaterial Silizium Fr Anwendungen Der Integrierten Optik Bislang Wegen Seiner Ungnstigen Optischen Eigen Schaften Nur Unzureichend Beachtet Worden.
  • Fruugo-ID: 557225622-1125495043
  • ISBN: 9783519061588
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